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MIRUC日本米拉克光學XY 軸驅(qū)動平臺的工作原理是什么

更新時間:2025-09-19      點擊次數(shù):163

MIRUC米拉克的XY軸驅(qū)動平臺通過精密的機械結(jié)構(gòu)(如齒條-小齒輪和燕尾榫)實現(xiàn)平滑移動,利用抗振動設(shè)計保持穩(wěn)定,并通過可選的光電編碼器或線性編碼器實現(xiàn)閉環(huán)控制,從而達成微米甚至納米級的高精度定位、

?? 核心組件與技術(shù)特點

MIRUC米拉克光學XY軸驅(qū)動平臺的高精度源于其幾個核心組件和技術(shù)的協(xié)同工作:

組件/技術(shù)描述優(yōu)勢
齒條-小齒輪機構(gòu)平臺的核心傳動方式,通過手柄旋轉(zhuǎn)驅(qū)動小齒輪,帶動齒條實現(xiàn)平臺線性移動。嚙合力度經(jīng)精密校準,避免過緊或過松,確保平滑移動。
燕尾榫滑動技術(shù)采用高精度燕尾榫結(jié)構(gòu)。確保平臺在移動過程中無晃動,滑動平滑且耐用性高。
抗振動設(shè)計螺栓固定部件使用粘彈性材料有效吸收振動和沖擊,防止螺釘松動,提升長期穩(wěn)定性。
交叉滾柱導軌部分高階型號采用線接觸的淬火滾柱替代傳統(tǒng)滾珠。提升剛性和導向精度,減少摩擦并允許更高負載。
高精度線性編碼器可選配集成編碼器(如增量式線性編碼器),實現(xiàn)納米級分辨率(如10nm)和全閉環(huán)控制。實時校正位置誤差,實現(xiàn)納米級分辨率和高的定位精度。
模塊化設(shè)計支持單軸(X/Y/Z)、雙軸(XY)或三軸(XYZ)組合。通過標準接口(如φ14軸安裝孔和φ32鏡筒接口),靈活集成于顯微鏡、光學檢測設(shè)備等系統(tǒng)。

?? 典型應(yīng)用場景

憑借其高精度和穩(wěn)定性,MIRUC米拉克XY軸驅(qū)動平臺廣泛應(yīng)用于:

?? 總結(jié)與提示

MIRUC日本米拉克光學XY軸驅(qū)動平臺的工作原理,是其精密機械設(shè)計、高質(zhì)量材料、抗振技術(shù)以及可選閉環(huán)控制共同作用的結(jié)果。其優(yōu)勢在于極低的動態(tài)偏差(如雙向重復(fù)性±0.5μm)和模塊化擴展能力。

在選擇和使用這類平臺時,有幾點需要注意:


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