在半導體制造、真空工藝等工業(yè)領域，精確的壓力測量直接關系到產(chǎn)品質量與工藝穩(wěn)定性，HORIBA堀場的電容式壓力計正是為此而生的精密測量利器。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科研實驗中，精確的壓力測量對工藝控制、質量保障和安全運行至關重要。日本HORIBA堀場作為的分析測量儀器制造商，其電容式壓力計系列產(chǎn)品憑借的精度、穩(wěn)定性及耐腐蝕性，成為半導體、電子制造、化工等領域的關鍵測量工具。

01 核心工作原理：電容變化的精密測量

HORIBA電容式壓力計基于電容變化原理進行壓力測量。其核心是一個由金屬膜片組成的電容器結構，當膜片兩側存在壓力差時，膜片會發(fā)生形變，從而改變兩個電極之間的電容量。

根據(jù)平行板電容器的基本公式 C=εA/d（其中C為電容量，ε為介電常數(shù)，A為極板相對面積，d為極板間距），改變極板間距d會引起電容量的變化。

HORIBA采用創(chuàng)新的電極結構和微型自加熱設計，使這種原理轉化為高精度的實際測量能力。

通過測量電容量的變化，儀器可以精確計算出被測壓力值，并將物理壓力參數(shù)轉換為標準電信號輸出，通常為4-20mA模擬信號或數(shù)字信號。

這種基于電容變化的測量原理，賦予了HORIBA壓力計的精度和出色的長期穩(wěn)定性，使其能夠在苛刻的工業(yè)環(huán)境中保持可靠的測量性能。

02 產(chǎn)品系列與主要型號

HORIBA堀場提供了多種型號的電容式壓力計，以滿足不同應用場景的需求。

VG-200S絕對壓力計是HORIBA STEC系列中的代表產(chǎn)品，采用模擬顯示設計，壓力測量范圍0-1.33 bar，工藝溫度最高可達100°C。

該型號采用SUS316L隔膜材質，提供了溫度控制（55°C或100°C）和非加熱型兩種選擇，適用于對穩(wěn)定性要求高的真空工藝環(huán)境。

VG-221S電容式壓力計同樣是一款高性能產(chǎn)品，以其高精度和優(yōu)異的氣體依賴性著稱。

它采用一鍵調零設計，操作簡便，電源要求為+/-15VDC或24VDC，符合CE和RoHS標準，體現(xiàn)了HORIBA產(chǎn)品在安全性和環(huán)保方面的承諾。

VG-521電容壓力隔膜真空表則配備了PI功能和最新算法，即使面對快速的壓力波動也能實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。

其多量程/多氣體功能允許用戶更改氣體類型和滿量程流量，并在1秒內完成全量程快速響應，大大提高了工藝流程的靈活性和效率。

03 技術特點與性能優(yōu)勢

HORIBA電容式壓力計融合了多項先進技術，形成了其顯著的產(chǎn)品優(yōu)勢。

高精度與穩(wěn)定性

HORIBA電容式壓力計具有的測量精度，其壓力輸出對氣體種類的依賴性較小。

采用創(chuàng)新的電極結構和微型自加熱設計，確保了產(chǎn)品在長期使用中保持高性能和高穩(wěn)定性。這種穩(wěn)定性在連續(xù)運行的工業(yè)環(huán)境中尤為重要，可大幅降低維護成本和停機時間。

優(yōu)異的耐腐蝕性

采用SUS316L不銹鋼隔膜等優(yōu)質材料，使HORIBA壓力計能夠適應各種腐蝕性氣體環(huán)境。

在半導體工藝中，經(jīng)常會使用到腐蝕性氣體，這一特性顯著延長了儀表的使用壽命，提高了在惡劣環(huán)境下的可靠性。

靈活的溫度控制

HORIBA電容式壓力計提供溫度控制版本（55°C或100°C）或非加熱型選擇。

這一特點使用戶能夠根據(jù)具體應用場景選擇適合的型號，在需要精確溫度控制的工藝中保持測量的穩(wěn)定性。

緊湊設計與便捷操作

HORIBA壓力計采用緊湊型設計，如VG-521型號的尺寸僅為其他公司產(chǎn)品的1/20，傳感器截面尺寸僅5厘米，非常適合整合到設備中。

一鍵調零功能簡化了操作流程，降低了使用門檻。

04 主要應用領域

HORIBA電容式壓力計憑借其性能，在多個高科技產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著關鍵作用。

半導體制造業(yè)

在半導體制造領域，絕對壓力測量對各種真空工藝至關重要。

HORIBA電容式壓力計用于刻蝕、CVD、PVD等關鍵工藝環(huán)節(jié)，確保真空環(huán)境的壓力穩(wěn)定，直接影響芯片生產(chǎn)的良率和性能。

平板顯示（FPD）與硬盤（HDD）制造

在FPD和HDD制造過程中，需要精確的真空壓力控制以確保產(chǎn)品質量。

HORIBA壓力計能夠在這些行業(yè)的真空工藝中提供可靠的壓力數(shù)據(jù)，保障大規(guī)模生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

光伏（PV）與涂層行業(yè)

太陽能電池制造和精密涂層工藝對壓力測量同樣有嚴格要求。

HORIBA壓力計的高精度特性滿足了這些行業(yè)對工藝控制的高標準要求，有助于提高能源轉換效率和涂層均勻性。

化工與電子行業(yè)

在化工過程和電子元件制造中，HORIBA壓力計廣泛應用于真空爐、分析儀器等設備。

其耐腐蝕性和多氣體兼容性使它們能夠適應復雜的工業(yè)環(huán)境。

05 電容式壓力計的操作與調校

正確操作和定期調校是確保電容式壓力計長期穩(wěn)定運行的關鍵。

基本操作原理

電容式壓力計通常采用二線制連接，供電電壓為24VDC，輸出4-20mA的標準信號。

這種標準化設計使它們能夠輕松集成到各種工業(yè)控制系統(tǒng)中，與指示報警儀、記錄儀、調節(jié)器等二次儀表配合使用。

調校方法

電容式壓力計的調校主要包括零點調整和量程調整。

在調校前，通常需要先將阻尼電位器反時針調到極限位置，即關掉阻尼作用。

零點調整是在輸入差壓為0時，調整變送器輸出為4mA；量程調整則是加入相當于滿度輸出的差壓信號，調節(jié)量程電位器，使變送器輸出為20mA。

需要注意的是，儀表的零點調整和量程調整會相互影響，因此在調校時必須反復調整零點和滿度，才能使儀表滿足精度要求。

遷移功能

HORIBA電容式壓力計支持零點遷移功能，可根據(jù)實際應用需要進行正遷移或負遷移。

這一功能使壓力計能夠適應不同的測量范圍，提高在特定工況下的測量精度和靈敏度。

從半導體芯片的真空蝕刻車間到太陽能電池的涂層生產(chǎn)線，HORIBA堀場的電容式壓力計以其的精度、穩(wěn)定的性能和的耐用性，成為工業(yè)制造領域中的關鍵測量設備。

隨著工業(yè)技術不斷發(fā)展，對精密測量的要求將愈發(fā)嚴格，HORIBA電容式壓力計將繼續(xù)在全球工業(yè)進程中發(fā)揮著精準感知與可靠控制的重要作用。