
在半導(dǎo)體制造、制藥等領(lǐng)域,一滴水中的細(xì)微雜質(zhì)都可能帶來巨大損失
在制造業(yè)和科研領(lǐng)域,超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和良率。作為水質(zhì)監(jiān)測領(lǐng)域的企業(yè),日本HORIBA堀場推出的系列電阻率計,憑借其精密測量性能和的穩(wěn)定性,成為半導(dǎo)體、制藥、電子等行業(yè)超純水監(jiān)測的理想選擇。
HORIBA電阻率計采用雙電極法進(jìn)行測量,通過連接專門的電阻率傳感器(ERF系列),精確測量水樣中的電阻率和溫度參數(shù)。
這些設(shè)備的核心優(yōu)勢在于其高精度的溫度補(bǔ)償功能。由于水的電阻率隨溫度變化極為敏感,HORIBA電阻率計使用鉑電阻溫度計(Pt 1000Ω)作為溫度補(bǔ)償元件,能夠根據(jù)超純水的溫度特性,自動將測量值補(bǔ)償?shù)絽⒖紲囟龋ㄍǔ?5℃)下的電阻率值。
更值得一提的是,用戶可以自由設(shè)置溫度補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)溫度值,滿足特定條件的測量需求,如測量溫?zé)崛ルx子水等特殊應(yīng)用場景。
HORIBA提供了多種型號的電阻率計,以適應(yīng)不同的安裝環(huán)境和使用需求。以下是其主要產(chǎn)品系列:
HE-480R是一款面板安裝型電阻率計,采用四線制傳輸方式,提供高精度溫度補(bǔ)償功能。
測量范圍:電阻率覆蓋0-100.0 MΩ?cm,溫度測量范圍0-100℃
主要特點(diǎn):小巧的體積,高的超純水測量精度,以及先進(jìn)的溫度補(bǔ)償算法
適用場景:半導(dǎo)體、電子、食品和制藥行業(yè)的UPW(超純水)連續(xù)監(jiān)測
HE-300R是專為現(xiàn)場安裝設(shè)計的電阻率計,采用二線制傳輸,適合惡劣工業(yè)環(huán)境。
堅(jiān)固設(shè)計:工作溫度范圍-20~60℃,防護(hù)等級IP65,符合CE標(biāo)記和FCC規(guī)則
智能功能:同時顯示液體溫度,具備自診斷功能,可即時檢測傳感器錯誤
電源特性:采用24V DC供電,功耗僅0.6W或更低,節(jié)能高效
HE-960RW是一款面板安裝型雙通道電阻率計,支持同時測量兩個點(diǎn)位的水質(zhì)參數(shù)。
雙通道設(shè)計:可連接兩個傳感器同時測量,實(shí)現(xiàn)高性能、高精度和總體成本降低
通信能力:配備RS-485通信功能,便于系統(tǒng)集成
性能:在15°C~35°C水溫范圍內(nèi),能將18 MΩ·cm電阻率范圍內(nèi)的測量值波動控制在最小0.02 MΩ·cm范圍內(nèi)
GC-96RW是專為超純水測量設(shè)計的雙通道電阻率計,可連接兩種不同檢測單元常數(shù)的傳感器。
靈活性:同時支持檢測單元常數(shù)0.1/cm和0.01/cm的傳感器
應(yīng)用覆蓋:既可連接超純水設(shè)備中使用的鈦檢測單元,也可連接清洗裝置中使用的碳檢測單元
高精度溫度測量:具備可輸入鉑測量電阻元件偏差功能,不必進(jìn)行溫度校正就能獲得±0.2℃以內(nèi)的溫度測量精度
HORIBA電阻率計在超純水測量領(lǐng)域展現(xiàn)出多項(xiàng)技術(shù)優(yōu)勢:
1. 高精度測量與穩(wěn)定性
HORIBA電阻率計具有的測量重復(fù)性和線性度。以HE-480R為例,其重復(fù)性和線性均達(dá)到≤±0.5%F.S.(等效輸入),確保長期測量的可靠性。
HE-960RW更進(jìn)一步,將重復(fù)性提高至≤±0.1%F.S.,能夠檢測極微小的水質(zhì)變化。
2. 靈活的輸出與報警功能
這些電阻率計提供多種輸出選項(xiàng)和報警功能,便于系統(tǒng)集成和過程控制。
HE-480R提供1點(diǎn)4~20mA DC傳輸輸出和2點(diǎn)觸點(diǎn)輸出,可用于上下限控制、故障警報和維護(hù)操作。
HE-960RW則提供2點(diǎn)4~20mA DC輸出和4個獨(dú)立的觸點(diǎn)報警,滿足更復(fù)雜的監(jiān)控需求。
3. 先進(jìn)的自我診斷功能
HORIBA電阻率計內(nèi)置自診斷系統(tǒng),能夠?qū)崟r監(jiān)測設(shè)備狀態(tài),及時發(fā)現(xiàn)傳感器故障、溫度傳感器短路和斷線等問題。
這一功能大大減少了意外停機(jī)時間,提高了系統(tǒng)的整體可靠性。
4. 環(huán)境友好設(shè)計
所有HORIBA電阻率計均采用無鉛焊接工藝,符合RoHS指令,減少了對環(huán)境的影響。
HORIBA電阻率計在多個關(guān)鍵行業(yè)發(fā)揮著重要作用:
半導(dǎo)體制造業(yè)
在半導(dǎo)體制造過程中,超純水的質(zhì)量直接影響芯片的良率和性能。HORIBA電阻率計能夠連續(xù)監(jiān)測UPW水質(zhì),確保清洗工藝的效果。
制藥行業(yè)
制藥工藝用水對水質(zhì)有嚴(yán)格要求。HORIBA電阻率計提供的高精度測量,確保制藥用水符合相關(guān)藥典標(biāo)準(zhǔn)。
食品與飲料行業(yè)
食品飲料生產(chǎn)過程中,水質(zhì)是影響產(chǎn)品安全的重要因素。HORIBA電阻率計幫助生產(chǎn)企業(yè)監(jiān)控水質(zhì)純度,保障產(chǎn)品安全。
電力與能源行業(yè)
發(fā)電廠特別是核電站的水質(zhì)控制對設(shè)備安全和效率至關(guān)重要。HORIBA電阻率計為這些行業(yè)提供了可靠的水質(zhì)監(jiān)測方案。
隨著工業(yè)4.0和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的快速發(fā)展,HORIBA電阻率計正朝著更高智能化、更強(qiáng)集成能力的方向發(fā)展:
通信能力增強(qiáng):新型號如HE-960RW已配備RS-485通信功能,支持更便捷的系統(tǒng)集成和數(shù)據(jù)傳輸
多參數(shù)監(jiān)測:趨勢表明,電阻率計正從單一參數(shù)測量向多參數(shù)集成監(jiān)測發(fā)展,滿足復(fù)雜工藝的監(jiān)控需求
遠(yuǎn)程監(jiān)控與維護(hù):借助物聯(lián)網(wǎng)技術(shù),HORIBA電阻率計逐步實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和維護(hù)功能,降低運(yùn)營成本
日本HORIBA堀場電阻率計憑借其精密測量能力、可靠穩(wěn)定性和廣泛適應(yīng)性,已成為超純水監(jiān)測領(lǐng)域的產(chǎn)品。
無論是半導(dǎo)體行業(yè)的純度要求,還是制藥食品行業(yè)的品質(zhì)管控需求,HORIBA都能提供量身定制的解決方案。
隨著工業(yè)技術(shù)不斷發(fā)展,對水質(zhì)測量的要求將愈發(fā)嚴(yán)格,HORIBA電阻率計將繼續(xù)在水質(zhì)監(jiān)測領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用,為各行業(yè)提供可靠、精確的測量保障。