兼容微量元素濃度和成分分析

兼容從輕元素到重元素的多種元素：  4 Be 到92 U

高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-Boron 

我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如改進(jìn)硼分析能力，以提高分析精度和穩(wěn)定性。 此外，為了保證穩(wěn)定性，標(biāo)準(zhǔn)配置了恒溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)。

XY-θ驅(qū)動(dòng)臺(tái)

XY-θ 驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓表面上的精確薄膜厚度和成分分布測(cè)量。 鐵電薄膜也不受衍射線的影響。

應(yīng)用

半導(dǎo)體器件 BPSG, SiO 2 , Si 3 N4, ... 摻雜多晶硅(B,P,N,As), Wsix, ... Al-Cu, TiW, TiN, TaN, ... PZT, BST, SBT, ... MRAM，...　　
金屬膜W，Mo，Ti，Co，Ni，Al，Cu，Ir，Pt，Ru，...　　
磁盤CoCrTa，CoCrPt，...DLC，...NiP，。 ..　　
磁光盤Tb-FeCo、?　　
磁頭GMR、TMR、??

豐富的固定測(cè)角儀陣容

我們根據(jù)膜厚度和膜結(jié)構(gòu)提供最佳的固定測(cè)角儀。我們還有一個(gè)專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。

全自動(dòng)設(shè)備日常管理功能AutoCal

為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須正確校準(zhǔn)儀器。為此，必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備處于良好狀態(tài)。這種日常校準(zhǔn)工作是自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。 這就是“AutoCal 功能"。

兼容C to C自動(dòng)傳輸

除了開放式盒式磁帶外，它還兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。 另外，可與上位機(jī)進(jìn)行SECS通信，并兼容各種CIM/FA。

緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)

主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小于1平方米。采用無(wú)油變壓器，輔助設(shè)備緊湊，節(jié)能設(shè)計(jì)。