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HORIBA堀場微流量壓力不敏感質(zhì)量流量計
簡要描述：

HORIBA堀場D700uF微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊
HORIBA堀場微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

  • 產(chǎn)品型號：D700uF
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：71

詳細(xì)介紹

HORIBA堀場微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

HORIBA堀場微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700uF


微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700uF（Micro Flow） 專為 ≤ 5SCCM 流量應(yīng)用而設(shè)計。
≤ 5SCCM 流量控制在高縱橫比工藝中一直非常關(guān)鍵。
專用組件和新開發(fā)的內(nèi)部低流量標(biāo)準(zhǔn)可實現(xiàn)低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。

  • 低至 0.025SCCM 的流量控制能力

    • 精確的調(diào)諧氣體控制，增強工藝可調(diào)性

  • ≤ 100ms 升壓響應(yīng)和 MFC 到 MFC 偏差控制

    • 提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能

  • 內(nèi)部流量計量

    • 所有制造產(chǎn)品的性能可靠

  • 狀態(tài)監(jiān)控功能

    • 提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)，實現(xiàn)更智能的故障預(yù)測

  • PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性

    • 堅固耐用，顆粒風(fēng)險更低，減少停機時間并優(yōu)化產(chǎn)量


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