HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質(zhì)量流量計(jì)

HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質(zhì)量流量計(jì)

高速和精密壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝不斷需要精密的氣體流量控制器件，這些器件既能實(shí)現(xiàn)未來的創(chuàng)新，又能實(shí)現(xiàn)前沿存儲器和邏輯器件從實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠的過渡。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，這是 D500MG 的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)

• 機(jī)上氣體和滿量程配置更改 *僅限 EtherCAT

• 為流程優(yōu)化提供靈活性

• 100ms 升壓響應(yīng)和 MFC 到 MFC 偏差控制

• 提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能

• 用于小流速的 MRMG 功能 （Bin101 – Bin105）

• 為需要小流速的工藝提供靈活性

• PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性

• 堅(jiān)固耐用，顆粒風(fēng)險(xiǎn)更低，減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量

• 狀態(tài)監(jiān)控器功能

• 提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測