HOBIBA堀場(chǎng)化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選

HOBIBA堀場(chǎng)化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選

化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

CS-1000 型

能夠?qū)?BEOL 工藝中使用的含有微量元素的多組分化學(xué)溶液進(jìn)行濃度管理*1.

ppm 級(jí)的低濃度組分*2在化學(xué)溶液中，無(wú)需任何預(yù)處理即可檢測(cè)到。只需在制造現(xiàn)場(chǎng)安裝整合在一個(gè)獨(dú)立機(jī)柜中的一體化系統(tǒng)即可開始使用*3.

*1 “back end of line"的縮寫，指的是半導(dǎo)體前端工藝中的布線形成過程。
*2 ppm = 百萬(wàn)分之一。對(duì)于液體成分，1 ppm 表示 1 升液體中存在 1 毫克的成分。
*3 SEMI S2 認(rèn)證。

檢測(cè) PPM 級(jí)的低濃度組分

通過提高光譜儀的性能（擴(kuò)大的波長(zhǎng)范圍和更高的分辨率）并結(jié)合來(lái)自 pH 計(jì)和電導(dǎo)率計(jì)的信號(hào)，現(xiàn)在可以檢測(cè) ppm 級(jí)的低濃度成分。

同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同的化學(xué)溶液

該裝置配備了兩條獨(dú)立的樣品流線。通過隔離流路，它可以同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同的化學(xué)溶液。

每六個(gè)月 4 小時(shí)的維護(hù)

配備具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的 pH 計(jì)。維護(hù)僅包括更換燈以及 pH 計(jì)的內(nèi)部溶液和校準(zhǔn)溶液瓶。