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玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀
簡要描述:

玉科精品HOBIBA堀場CS-600F光纖式化學濃度監(jiān)測儀
玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀

  • 產品型號:CS-600F
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-10-14
  • 訪  問  量:283

詳細介紹

玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀

玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監(jiān)測儀

光纖式化學濃度監(jiān)測儀

CS-600F 系列

一種基于光纖的化學品濃度監(jiān)測儀,用于測量半導體制造過程中使用的化學品,如清洗和蝕刻。

可以測量濕法工藝所必需的高溫化學品。實現(xiàn)快速、穩(wěn)定和節(jié)省空間的解決方案,從而優(yōu)化化學品管理并提高其精度。

CS-600F 系列
測量
原理
吸收光譜法
計算
原理
溫度補償型多變量分析


樣品溶液
溫度
20?80°C
測量周期約 3 秒
LCD
顯示屏
(1) 測量值 (%)
(2) 濃度警報 (HH/H/L/LL)
(3) 錯誤代碼 (EXXX)
(4) 化學溫度 (°C)
(5) 串/并行通信狀態(tài) (P/S)
(6) 背景校正失敗次數(shù) (CXXX)
按鍵輸入(1) 濃度警報設置 (HH/H/L/LL)
(2) 濃度值偏移
(3) 背景校正
(4) 熱水校正
(5) 隨溫度變化的濃度變化
并行
輸入
輸入電壓為 12 V 至 30 V DC,通過光電耦合器
絕緣 (1) 并聯(lián)濃度警報輸出(開/關)
(2) 用于測量
的切換化學溶液(包括背景校正)
(3) 熱水校正
并行
輸出
晶體管輸出(NPN 集電極開路),通過光電耦合器
絕緣 通電時的最大電流:5 mA DC(無內部保護電阻)
斷電時的最大電壓:30 V DC
(1) 濃度警報(HH/H/L/LL 警報時打開)
(2) 監(jiān)控錯誤(錯誤時關閉)
(3) 測量(測量時打開)
(4) 測量
用化學溶液類型 (5) 回波到熱水校正輸入
(6) 警告(發(fā)生時開啟)
(7) 背景校正狀態(tài) 8) 熱水校正狀態(tài)
串行輸入RS-232C
(1) 要求讀取測量數(shù)據(jù)
(2) 選擇要測量
的化學溶液類型 (3) 熱水校正
串行
輸出

RS-232C
(1) 實測數(shù)據(jù)號
(2) 化學溶液類型
(3) 濃度值
(4) 錯誤代碼
(5) 化學溫度

模擬
輸出
4 mA 至 20 mA
如果出現(xiàn)監(jiān)視器錯誤、停止測量或
選擇了無效的化學范圍,則信號輸出固定為 1.5 mA。負載電阻必須為最大值 500 Ω。
化學溶液
溫度輸入
接線端子入口(端子螺釘 M3)
鉑電阻溫度傳感器:Pt100
(三線型,A 級) *不包括溫度傳感器。
空氣
(用于作和吹掃)
連接端口:4 mm 外徑快速接頭、
壓力:0.2 MPa ±0.02 Mpa
電源100~230V AC(單相)、50/60Hz
功耗約 85 VA
(不包括啟動時的瞬態(tài)電流)
重量(監(jiān)視器) 約 3.6 kg
(燈單元) 約 2.8 kg
(樣品池) 約 1.2 kg
環(huán)境溫度(顯示器、燈單元) 20°C 至 30°C
(樣品池、光纖) 20°C 至 35°C
(應避免溫度突然變化,±1°C/1 小時內)
環(huán)境濕度(監(jiān)視器、燈裝置、樣品池)40% 至 70%(
應無結露)
安裝時的傾斜角度(監(jiān)視器、Lamp 單元)在 ±1° 以內
光纖長度:5 m,最小彎曲半徑:R 150 mm


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