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Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵
簡(jiǎn)要描述：

Osaka Vacuum大阪真空TG220F高性能輕型渦輪分子泵
Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵

特點(diǎn)：
高H2壓縮比
在高背壓的情況下也可以連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，排氣性能安定
將電源控制器與分子泵一體化
360度任意角度安裝
耐振動(dòng)，可移動(dòng)正在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TG220F
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2025-10-15
  • 訪  問(wèn)  量：343

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵

Osaka Vacuum大阪真空高性能輕型渦輪分子泵


  • 輕巧設(shè)計(jì)

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動(dòng)

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強(qiáng)
    經(jīng)400次大氣沖擊驗(yàn)證

  • 多種通信模式

  • 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導(dǎo)體制造

  • 電子槍排氣，離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析，試驗(yàn)裝置

  • 管球制造，光學(xué)部件制造

  • 加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開(kāi)發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí)，請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。


型號(hào)TG240F
吸氣口法蘭 CF100/ISO-R100
排氣速度N2 (L/s)240
N2(附帶保護(hù)金屬網(wǎng)) (L/s)230
H2 (L/s)160
最大壓縮比N21×108
H24×104
極限壓力ISO-R(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
CF(Pa/Torr)<5×10-7/<3.8×10-9
最大氣體流量※1N2 (sccm)70
啟動(dòng)時(shí)間(min) 5.5-6
允許輔助壓力(Pa/Torr)700/5.3
推薦輔助泵(L/min)≧80
安裝角度任意
重量ISO-R/CF(kg) 7.3/10.5
控制器型號(hào)TC245(一體型)※2
輸入電壓（V）DC24V
所需最大電力（W)75W

※1：輔助泵的容量是80L/min情況下的最大容許流量
※2：可選擇泵和控制器一體型(TC245)或者是分離式型(TC246)

[ 對(duì)應(yīng)氣體種類(lèi) ]

由于排氣的氣體種類(lèi)不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)請(qǐng)咨詢(xún)銷(xiāo)售人員。

[ 使用環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度是8～38℃





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