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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > Rigaku理學(xué) > 半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備 > XTRAIA XD-3300玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
產(chǎn)品型號(hào)：XTRAIA XD-3300廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-09-29訪 問 量：163
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CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
XTRAIA XD-3300 是一款多功能 射線計(jì)量工具，可在大批量生產(chǎn)中以高通量對(duì)毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無損分析。
測(cè)量結(jié)果包括通過 射線反射率 (XRR) 測(cè)量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測(cè)量的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格弛豫和結(jié)晶度。
它支持多種應(yīng)用，包括在線 XRD/XRR 多層堆疊、金屬薄膜、壓電薄膜、SiGe 和化合物半導(dǎo)體薄膜的厚度和成分分析。您可以根據(jù)您的應(yīng)用選擇最佳的設(shè)備配置。
XRD 和 XRR 分析有可能通過內(nèi)聯(lián)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
| 方法 | 高分辨率X射線衍射（HRXRD）、射線反射率（XRR） | |
|---|---|---|
| 目的 | 用于毯狀/圖案外延薄膜的 雙光束（線和 40μm 微點(diǎn)） 圖案識(shí)別 | |
| X射線源 | 1：9 kW 銅旋轉(zhuǎn)陽極陰極或 2.2 kW 銅封裝管 2：COLORS™ 混合銅梁模塊，用于測(cè)量圖案化晶圓 | |
| 主要部件 | 整體和圖案晶圓測(cè)量 射線光學(xué)器件：最多 2 個(gè)單色儀 Ge(400) x 2、Ge(220) x 2、Ge(220) x 4 射線探測(cè)器：2D (HyPix-3000) 微光斑尺寸、圖案識(shí)別、高強(qiáng)度、chi軸 高精度測(cè)角儀 | |
| 特征 | 具有高強(qiáng)度旋轉(zhuǎn)反陰極和微點(diǎn)束的 COLORS™ 混合銅束模塊 | |
| 選項(xiàng) | 單色儀、各種光學(xué)組件 GEM300 軟件、E84/OHT 支持 | |
| 機(jī)身尺寸 | 1656（寬）×3689（深）×2289（高）毫米 | |
| 測(cè)量結(jié)果 | HRXRD、XRR、搖擺曲線和倒晶格圖 (RSM) | |
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