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日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科SOPHI-400半導體兼容高能離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機

  • 產(chǎn)品型號：SOPHI-400
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：357

詳細介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機

日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機


兼容高能離子注入機SOPHI-400

這是一種高能離子注入機，可處理高達 1200keV 的電壓。


中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機，非常適合大學的研發(fā)。


特征

  • 單片式

  • 兼容薄晶圓

  • 平行光束

  • 最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。

  • 除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。

  • 高壓端子部分與量產(chǎn)設備配置相同，確保高可靠性。


目的

  • 功率器件薄基板工藝、IGBT工藝

規(guī)格

  • 板材尺寸：Max200mm

  • 最大電壓：Max1200 keV

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