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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科SME-3500半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)

  • 產(chǎn)品型號：SME-3500
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：415

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)


用于研究和開發(fā)的中電流離子注入機(jī)SME-3500

中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī)，非常適合大學(xué)的研發(fā)。


特征

  • 最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。

  • 除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。

  • 高壓端子部分與量產(chǎn)設(shè)備配置相同，確保高可靠性。

規(guī)格

活力30 至 200keV（可選 3 至 200keV）
最大束流11B+ 400μA（200keV)
31P+ 600μA（200keV)
最小束流150納安
離子種類B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他









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