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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科IH-860PSIC半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)

  • 產(chǎn)品型號：IH-860PSIC
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：532

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)


SiC 高溫離子注入機(jī)IH-860PSIC

這是配備高溫ESC的用于SiC量產(chǎn)的高能離子注入機(jī)。



特征

  • 可自動連續(xù)高溫處理注入

  • 可注入高達(dá) 350keV 的單價(jià)離子和 700keV 的雙電荷離子
    （可選支持高達(dá) 430keV 的單價(jià)離子和 860keV 的雙電荷離子）

  • 雙端站實(shí)現(xiàn)高吞吐量
    （A系統(tǒng)4"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)3"高溫電調(diào)、A系統(tǒng)6"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)6"常溫電調(diào)等，規(guī)格可根據(jù)客戶需求訂做愿望）

  • 可進(jìn)行鏈條注射，減輕操作員負(fù)擔(dān)

  • 緊湊型設(shè)計(jì)

  • 從原型到批量生產(chǎn)，我們提供廣泛的支持。

目的

  • SiC用離子注入機(jī)

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